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本实用新型提供了一种用于测试射频GSG结构的探针卡，包括电路板、探针模组和连接线，探针模组和连接线设置于电路板上，探针模组与射频GSG结构电连接并通过连接线与电路板电连接，其中，在射频GSG结构的测试信号的传输通道上设置有EMI滤波装置，用...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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