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本实用新型公开了一种感应耦合型等离子体处理装置，属于等离子体处理技术领域。本实用新型处理腔室使用超材料顶板，超材料顶板包括基材层和附着在其上的金属线结构单元，在基材选定的情况下，通过改变金属线结构单元的图案、设计尺寸和/或金属线结构单元在空...
该专利属于山东专利工程总公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东专利工程总公司授权不得商用。

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