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热辅助磁头检查装置(1)具备：磁头磁场检测系统(36、37)，其根据悬臂(10)的位移量测定热辅助磁头(11)所产生的磁场；近场光检测系统(20)，其根据在悬臂位置产生的散射光测定热辅助磁头(11)所产生的近场光；光学系统工作台(2)，其搭...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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