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本发明涉及一种MEMS器件，包括MEMS器件上电极(2)、隔热结构层(1)及MEMS器件下电极(3)，MEMS器件下电极(3)中设有硅柱(3b)，硅柱的下端与MEMS器件上电极(2)中的锚点(2b)对应键合连接、上端与MEMS器件下电极(3...
该专利属于华东光电集成器件研究所所有，仅供学习研究参考，未经过华东光电集成器件研究所授权不得商用。

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