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本文提供用于保护基板处理系统的前级管线的内壁的方法和设备。在一些实施方式中，用于在基板处理系统的前级管线中处理废气的设备包括气体套管发生器，所述气体套管发生器包括：主体，所述主体具有设置成穿过所述主体的中心开口；气室，所述气室设置在所述主体...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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