下载光照射装置的技术资料

文档序号:12281812

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本发明提供一种光照射装置,对照射面上的规定照射位置照射延伸于第1方向,且在第2方向上具有规定线宽的线形的光线的光照射装置具备多个光学单元,该光学单元具有在基板上沿着第1方向排列的多个光源、和以使来自各光源的光线成为大致平行光的方式整形的多个...
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