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研磨用组合物制造技术
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文档序号:12275454
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提供一种研磨用组合物,其可以对具有无极性面或半极性面的蓝宝石基板以高研磨速度进行研磨。本发明为一种研磨用组合物,其用于对具有无极性面或半极性面的蓝宝石基板进行研磨的用途,其包含胶体二氧化硅颗粒和水,前述胶体二氧化硅颗粒的比表面积(单位:m2...
该专利属于福吉米株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过福吉米株式会社授权不得商用。
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