下载研磨用组合物的技术资料

文档序号:12275454

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提供一种研磨用组合物,其可以对具有无极性面或半极性面的蓝宝石基板以高研磨速度进行研磨。本发明为一种研磨用组合物,其用于对具有无极性面或半极性面的蓝宝石基板进行研磨的用途,其包含胶体二氧化硅颗粒和水,前述胶体二氧化硅颗粒的比表面积(单位:m2...
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