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一种可调焦距的反射镜制造技术
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下载一种可调焦距的反射镜的技术资料
文档序号:12274404
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一种可调焦距的反射镜,该反射镜包括反射层,薄膜层,第一基板和驱动机构,反射层覆盖于薄膜层的上表面,第一基板位于薄膜层和驱动机构之间,第一基板的高度方向设置第一通孔;驱动机构包括执行器基板和得电后弯曲形变失电后恢复形变的压电膜片,压电膜片粘接...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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