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本发明公开了一种六轴一体式微加速度传感器及其制作方法，通过键合连接在一起的上、下盖板、感测芯片。所述感测芯片包括从固定外框对角线引出四根梁与中间的“小岛”相连，使得外框架中间“小岛”、外框架对角线上的梁、外框架成为一个整体—固定框架，每个惯...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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