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一种Cu‑Ti非晶合金薄膜及其制备方法技术
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文档序号:12254363
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本发明公开了一种Cu‑Ti非晶合金薄膜及其制备方法,其特征在于:非晶合金薄膜的结构式为CuxTi100‑x(54≤x≤66),其中x为Cu元素的原子百分数;与通常的制备工艺不同的是,该非晶合金薄膜通过电子束+电阻蒸发复合镀膜的技术,在制备过...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。
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