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本发明涉及使用模型确定在等离子体系统的RF传输系统的故障的位置。用于确定在RF传输系统中的故障的位置的方法包括表征RF传输系统以及选择所述RF传输系统的区段中的一个作为初始选定区段。可以在所表征的所述RF传输系统中测量所述初始选定区段的输出...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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