下载旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置的技术资料

文档序号:12245828

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本发明提供一种能够抑制异物流入的旋塞阀、液体供给方法、液体供给装置以及涂敷装置。本发明涉及能够利用安装于阀主体的旋塞构件的转动动作来封闭液体的供给路线的旋塞阀。旋塞构件包括形成于外表面的旋塞侧槽部。阀主体包括:使液体向内部流入的液体流入口;...
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