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本发明的目的在于提供一种PLC平面光波导与微流量计的集成加工方法，通过在硅晶圆基体上生长衬底，衬底上沉积掺杂的波导芯层，生长掩膜层，通过光刻工艺在掩膜层生成一层图形，通过干法刻蚀将掩膜层的图形转移至波导芯层，剥离掩膜层后，再在其上沉积覆盖层...
该专利属于湖南晶图科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南晶图科技有限公司授权不得商用。

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