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本发明公开了一种基于石墨烯的化学或生物传感器及其制作方法。该传感器包括:至少一端面为电绝缘面的基底;设置在基底一端面上的,具有设定图形结构的石墨烯层以及与石墨烯层配合的图形源、漏电极;覆盖基底一端面的除石墨烯层和源、漏电极之外的区域的钝化层...该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种基于石墨烯的化学或生物传感器及其制作方法。该传感器包括:至少一端面为电绝缘面的基底;设置在基底一端面上的,具有设定图形结构的石墨烯层以及与石墨烯层配合的图形源、漏电极;覆盖基底一端面的除石墨烯层和源、漏电极之外的区域的钝化层...