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碳化硅‑碳化钽复合材料和基座制造技术
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文档序号:12178681
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本发明提供一种耐久性优异的碳化硅‑碳化钽复合材料。碳化硅‑碳化钽复合材料(1)具备:表层的至少一部分由第一碳化硅层(12)构成的主体(10)、碳化钽层(20)和第二碳化硅层(13)。碳化钽层(20)配置于第一碳化硅层(12)之上。第二碳化硅...
该专利属于东洋炭素株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东洋炭素株式会社授权不得商用。
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