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使用光束分离器的减斑器制造技术
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下载使用光束分离器的减斑器的技术资料
文档序号:12177564
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组件(1)包括:激光源(3)和用于减少斑纹的部件(7),该用于减少斑纹的部件(7)包括光束分离器(9),该光束分离器(9)将激光束的第一部分(11)反射并且将第二部分(13)传输;以及第一和第二反射构件(15、17),第一反射构件(15)接...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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