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一种显影装置,包括机架、设置于机架上的液槽以及载台,所述载台用于承载光罩,所述液槽用于向光罩排放显影液,所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出,所述载台与溢流口间隔设置,载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶,使用时光罩的两侧分别搭载在溢...该专利属于深圳市科利德光电材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市科利德光电材料股份有限公司授权不得商用。
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一种显影装置,包括机架、设置于机架上的液槽以及载台,所述载台用于承载光罩,所述液槽用于向光罩排放显影液,所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出,所述载台与溢流口间隔设置,载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶,使用时光罩的两侧分别搭载在溢...