温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置，属于薄膜晶体管技术领域。所述薄膜晶体管包括：衬底、栅电极、栅极绝缘层、以及有源层，栅极绝缘层包括：内部缺陷防止层和界面缺陷防止层，内部缺陷防止层位于界面缺陷防止层和栅电极之间，内部...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。