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一种沟槽肖特基二极管终端结构制造技术
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文档序号:12113349
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本实用新型公开了一种沟槽肖特基二极管终端结构,包括一N型硅基片,且所述N型硅基片的一侧还设有一N型硅外延层,且所述N型硅外延层内设有若干第一沟槽,且所述第一沟槽的一侧设有一终端环结构。本实用新型由于第一沟槽对N型硅外延层的耗尽作用,第一沟槽...
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