下载反应烧结碳化硅陶瓷均温板的技术资料

文档序号:12096388

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本发明公开了一种反应烧结碳化硅陶瓷均温板,其制造方法包括以下步骤:制备粉料,将碳与碳化硅混合,加入硬脂酸锌、聚乙烯醇喷雾造粒,得到粉料;压制坯块;真空烧结,在坯块表面放置硅粉,进行反应烧结;氧化烧结,将得到的均温板进行氧化烧结。本发明适用不...
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