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本实用新型提出了一种抽气环及沉积设备，所述抽气环包括圆形的环体及设置在环体上的多个抽气孔，抽气环包括快速抽气区域和慢速抽气区域，慢速抽气区域的抽气孔的密度大于快速抽气区域的抽气孔的密度。由于慢速抽气区域的抽气孔的密度大于快速抽气区域的抽气孔...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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