下载交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计的技术资料

文档序号:12027870

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本发明提供一种交叉栅结构MOSFET及多叉指栅结构MOSFET的版图设计,所述交叉栅结构MOSFET的版图设计包括:半导体衬底、十字形交叉栅结构、源区及漏区;所述十字形交叉栅结构包括第一条状栅及与所述第一条状栅垂直的第二条状栅,所述第一条状...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。

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