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本发明揭示了互锁式高压生成电路及采用该电路的静电消除系统,包括高压电源、静电放电单元以及使静电放电单元对称放电的高压生成电路,高压生成电路至少包括第一高压生成单元,第一高压生成单元包括第一开关电路,第一开关电路与所述高压电源及主控单元连接;...该专利属于苏州天华超净科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州天华超净科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明揭示了互锁式高压生成电路及采用该电路的静电消除系统,包括高压电源、静电放电单元以及使静电放电单元对称放电的高压生成电路,高压生成电路至少包括第一高压生成单元,第一高压生成单元包括第一开关电路,第一开关电路与所述高压电源及主控单元连接;...