温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种检测偏移的测试结构，至少包括：具有电阻结构的至少两条等距平行排列的第一金属层；金属连接孔，形成于第一金属层的一端上；第一焊垫，与所述第一金属层的另一端连接；至少两条第二金属层，形成于所述金属连接孔上且与金属连接孔对准接触；所述...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。