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一种基于等离激元增强光控量子点薄膜晶体管的制备方法技术
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下载一种基于等离激元增强光控量子点薄膜晶体管的制备方法的技术资料
文档序号:11994074
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本发明涉及一种基于等离激元增强光控量子点薄膜晶体管的制备方法,利用旋涂成膜工艺技术,在硅/二氧化硅衬底上,依次制备出金属量子点等离子激元增强层、绝缘有机隔离层、CdSe半导体量子点导电沟道层,随后,通过图形化掩膜覆盖蒸镀工艺技术在CdSe量...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。
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