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本发明公开了一种晶圆夹持装置，其特征是，包括握杆（1）、弧形抓杆（2）、夹持部（3）和位于所述弧形抓杆（2）上的箍环（4）；所述弧形抓杆（2）的上端连接在所述握杆（1）的下端，所述弧形抓杆（2）的下端连接夹持部（3）；所述握杆（1）内部设置...
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