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一种不对称深度微沟槽电极制造技术
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下载一种不对称深度微沟槽电极的技术资料
文档序号:11962444
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本实用新型公开了一种不对称深度微沟槽电极。该不对称深度微沟槽电极在圆柱形的电极整个圆周上沿轴向布有V形的微沟槽,微沟槽的深度呈上下逐渐变深趋势,从上到下左右对称地为第二微沟槽到第n微沟槽,微沟槽的沟槽深度变化规律为:hn=h(n‐1)+D/...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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