温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于介电泳效应超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，包括用于存放研磨液的容器，容器的内腔底面为工作台，工作台上固定基片，基片的上方依次布置定位板和振动板；基片上安装第一电极板，定位板上安装第二电极板，定位板的两侧开有下安装孔，振动板的...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。