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本发明适用于湿制程设备技术领域，提供了一种湿制程设备清洗方法及装置，所述方法包括：启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次...
该专利属于宇宙电路板设备（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宇宙电路板设备（深圳）有限公司授权不得商用。

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