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气路清洗装置以及气路清洗方法制造方法及图纸
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文档序号:11912303
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本发明提供一种气路清洗装置,用于对光谱检测仪器的气路进行清洗,其特征在于,包括:清洗气源;稳压阀,与清洗气源相连接;气体流量控制装置,与稳压阀相连接;限流阀,一端与稳压阀相连接,另一端与光谱检测仪器的气路出口相连通,当打开清洗气源进行清洗时...
该专利属于上海北裕分析仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海北裕分析仪器有限公司授权不得商用。
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