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一种刻蚀反应设备及其节流阀，包括一第一基板、一第二基板以及多个叶片。第一基板包括多个枢接结构，其中，一第一开口形成于第一基板之上。第二基板包括多个转向结构，其中，一第二开口形成于第二基板之上。每一叶片包括一枢接部以及一连结部，枢接部连接枢接...
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