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本实用新型涉及一种Z轴振镜组件的准直装置、Z轴振镜组件及准直系统。该Z轴振镜组件的准直装置，包括依次排列的激光器、准直扩束镜、第一准直光阑、第二准直光阑以及光斑位置定位仪，且第一准直光阑与第二准直光阑之间具有用于安装Z轴振镜组件的安装空间；...该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司授权不得商用。