下载用于多晶硅还原炉的底盘组件的技术资料

文档序号:11850055

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本实用新型公开了一种用于多晶硅还原炉的底盘组件,所述用于多晶硅还原炉的底盘组件包括:底盘本体,所述底盘本体内限定有从所述底盘本体的中心处旋向所述底盘本体的外周缘处的四个螺旋流道,所述底盘本体上设有与四个所述螺旋流道连通的至少四个冷却液进口和...
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