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本发明公开了一种自动化系统数据库文件有效性验证的方法、装置及系统，其中该方法包括如下步骤：构建与数据库文件相对应的数据库对象的集合文件，设定数据库文件中各节点的结构约束；构建用于导入输入文件，并利用数据库对象的集合文件对输入文件的有效性进行...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。