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蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪及其加工方法技术
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文档序号:11788262
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本发明公开一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪,包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元,主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件;蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置,整体呈正六边形中心电极设置于玻璃基底的...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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