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本发明涉及致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法。分光测定装置具备：静电致动器(56)，通过被施加驱动电压而驱动；间隙检测器(151)，检测间隙(G1)的尺寸；闭环系统(15L)，根据来自间隙检测器(151)的检测信号，控制向静...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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