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一种具有四个自由度的显微视觉测量装置制造方法及图纸
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下载一种具有四个自由度的显微视觉测量装置的技术资料
文档序号:11768987
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本实用新型涉及一种具有四个自由度的显微视觉测量装置,属于光学测量技术领域。本实用新型在装置上设置有X轴移动机构和X轴移动平台,X轴移动平台与可带动其沿着X轴移动的X轴移动机构连接;在X轴移动平台上设置有Y轴移动机构和Y轴移动平台,Y轴移动平...
该专利属于昆明理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过昆明理工大学授权不得商用。
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