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提供了一种颗粒筛选装置，可以包括：衬底，包括第一侧以及与第一侧相对的第二侧；在衬底上形成的微孔阵列，每一微孔从第一侧到第二侧贯穿衬底，且其尺寸被设置为至少允许尺寸小于目标颗粒的颗粒通过；以及在衬底的第一侧和第二侧中至少一侧上在至少一部分微孔...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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