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一种多片沉积PECVD非晶硅薄膜反应盒的电极板，电极板体用于承载PECVD基片的侧表面外形轮廓不大于PECVD基片的外形轮廓，电极板体前后两端分别通过活动连接装置安装有边缘端盖。由于PECVD基片将电极板体侧表面覆盖住，因此镀膜工艺中会将膜...
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