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本实用新型公开了一种透射式硅纳米阵列光分束器，属于微纳光学领域。一种透射式硅纳米阵列光分束器，包括晶体硅衬底和在晶体硅衬底上刻蚀出的若干个周期分布的硅纳米棒阵列；所述每个周期分布的硅纳米棒阵列包含若干个均匀分布的朝向不同的长方体硅纳米棒。其...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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