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本申请公开了一种精确控制多指型半导体器件参数波动的制造方法,包括:首先,在多指型半导体器件中形成所有的指状连线。然后,对各多指型半导体器件进行测试获取目标参数初始值。对于目标参数初始值大于目标参数要求范围的最大值的多指型半导体器件,减少这些...该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。
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