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红光LED倒装芯片的制作方法技术
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下载红光LED倒装芯片的制作方法的技术资料
文档序号:11485131
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一种红光LED倒装芯片的制作方法,包括如下步骤:步骤1:采用激光钻孔工艺在基板上得到两个通孔;步骤2:在两个通孔的侧壁制备金属,形成导电通孔;步骤3:在两个通孔上下面的周围制作金属电极,使上下面的金属电极连通;步骤4:将一红光LED垂直结构...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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