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一种微机电麦克风制造技术
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文档序号:11454756
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一种微机电麦克风,涉及计算机附件技术领域,包括本体、CMOS硅声学感测器、滤波器、驱动芯片及信号传输端口,其特征在于:所述的本体内部设有腔体,本体上表面上设有与腔体相通的由若干个细微孔组成的收音孔阵,收音孔阵下方设有高密度防护薄膜,CMOS...
该专利属于东北石油大学所有,仅供学习研究参考,未经过东北石油大学授权不得商用。
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