下载狭小缝隙直线度与平面度的测量方法的技术资料

文档序号:11391364

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本发明公开了一种狭小缝隙直线度与平面度的测量方法,本方法中辅助装置的测量端子设于阶梯测量块的上平面,阶梯测量块下平面的平面度小于0.01mm,阶梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm。将阶梯测量块安插于狭缝中,阶梯测量块下平面...
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