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本实用新型揭示了一种晶圆取片装置，包括：主体；用于固定晶舟的晶舟固定架，所述晶舟固定架连接所述主体；与多个晶圆一一对应的多个选片按钮；与所述多个选片按钮一一对应的多个制动机构，所述制动机构位于所述主体内；以及与所述多个制动机构一一对应的多个...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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