温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种用于SOI光波导的侧壁粗糙度检测方法和装置；解决的技术问题为：提供一种工艺、设备简单，能够对低矮侧壁进行测量的用于SOI光波导的粗糙度检测方法和装置；采用的技术方案为：利用绝缘材料，制备开口向下的槽型绝缘盖；通过键合工艺，将槽...
该专利属于太原理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过太原理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。