下载热电堆红外探测器的技术资料

文档序号:11318494

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本实用新型提供一种热电堆红外探测器,该热电堆红外探测器包括:衬底,所述衬底内具有空腔;介质支撑膜,位于所述空腔上方并由所述衬底支撑;热电堆,位于所述空腔上方的介质支撑膜上;超材料结构,位于所述热电堆上方,所述超材料结构包括:金属平面反射镜;...
该专利属于杭州士兰集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州士兰集成电路有限公司授权不得商用。

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