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用于基板表面的磁流变超光滑抛光的磁流变流体，包含：含水载体载剂；第一量的平均直径为1微米到2微米的磁性颗粒；以及第二量的平均直径为小于1纳米到15纳米的研磨剂颗粒。所述流体可进一步包含化学稳定剂。优选地，所述磁性颗粒的尺寸比所述研磨剂颗粒的...
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