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本发明公开了一种基于面发射激光器和金属阵列结构的表面等离子体共振传感的高灵敏度便携式传感芯片的制作和使用方法，属于光电子器件与传感技术领域。首先在面发射激光器的出光端面生长一层介质层用于隔离，再在该隔离层端面采用微纳加工技术，制作出可用于生...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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