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玻璃基板的研磨方法技术
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文档序号:11234039
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一种玻璃基板的研磨方法,包括使用第一研磨砂轮对玻璃基板进行研磨的第一研磨工序和使用平均粒径比所述第一研磨砂轮的平均粒径小的第二研磨砂轮对所述玻璃基板进行研磨的第二研磨工序,所述第二研磨砂轮包含含有粒径为0.5~10μm的二氧化铈磨粒和粒径为...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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